半導體專用溫控裝置Chiller循環制冷機
主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
本設備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標制冷量可以達到3600W，滿足用戶制冷需求。精QUE控溫，控溫穩定性達到±0.1℃，使用范圍廣，設定溫度：-20℃~80℃。
半導體專用溫控裝置Chiller循環制冷機
應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。
溫控精度（空載時）±0.05℃
觸摸屏操作，人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩定、準確控溫
可用選項
省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節能。
可對應溫度穩定性（空載時）±0.05℃。
循環液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)
冷卻方式：水冷式
